シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20230147210

申请日：

2023-09-11

公开(公告)号：

JP7545088B2

公开(公告)日：

2024-09-04

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IPC主分类号：

H01L21/302

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共 50 条

[1]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020054476A1 ,2020-10-22

[2]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP6700571B1 ,2020-05-27

[3]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP7352809B2 ,2023-09-29

[4]

シリコン窒化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

SUZUKI SHOI ;

YAO AKIFUMI .

日本专利 :JP2024152901A ,2024-10-25

[5]

酸化物層のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP6742720B2 ,2020-08-19

[6]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[7]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011040484A1 ,2013-02-28

[8]

エッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018020822A1 ,2019-05-09

[9]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[10]

金属酸化物のエッチング方法[ja] [P].

TAKEDA KEIGO ;

HIRAMATSU MINEO .

日本专利 :JP2025022336A ,2025-02-14

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