シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20110534282

申请日：

2010-09-29

公开(公告)号：

JPWO2011040484A1

公开(公告)日：

2013-02-28

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/308

IPC分类号：

H01L21/306

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共 50 条

[1]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[2]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009044647A1 ,2011-02-03

[3]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

[4]

シリコンエッチング液[ja] [P].

日本专利 :JP2025157627A ,2025-10-16

[5]

シリコンエッチング液[ja] [P].

NORO KOSUKE ;

HITOMI TATSUYA ;

SEIKE YOSHIKI ;

OKIMURA KOSHIRO .

日本专利 :JP2024034694A ,2024-03-13

[6]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[7]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020054476A1 ,2020-10-22

[8]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP7545088B2 ,2024-09-04

[9]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP6700571B1 ,2020-05-27

[10]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP7352809B2 ,2023-09-29

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