エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja]

被引：0

申请号：

JP20150525275

申请日：

2014-07-03

公开(公告)号：

JPWO2015002272A1

公开(公告)日：

2017-02-23

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23F1/38

IPC分类号：

C23F1/44 H01L21/308

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共 50 条

[1]

エッチング剤、エッチング方法及びエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009081884A1 ,2011-05-06

[2]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[3]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011040484A1 ,2013-02-28

[4]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[5]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009044647A1 ,2011-02-03

[6]

エッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018020822A1 ,2019-05-09

[7]

多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018047210A1 ,2018-09-06

[8]

多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6167444B1 ,2017-07-26

[9]

多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015075765A1 ,2017-03-16

[10]

多層膜用エッチング液とエッチング濃縮液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019064506A1 ,2020-04-09

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