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金属酸化物のエッチング方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230126790
申请日：
2023-08-03
公开(公告)号：
JP2025022336A
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
TAKEDA KEIGO
HIRAMATSU MINEO
申请人：
UNIV MEIJO
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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