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金属酸化物の原子層エッチング[ja]
被引：0
申请号：
JP20230553937
申请日：
2022-03-04
公开(公告)号：
JP2024509558A
公开(公告)日：
2024-03-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
代理机构：
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法律状态：
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