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金属酸化物の原子層エッチング[ja]
被引：0
申请号：
JP20200517569
申请日：
2018-07-30
公开(公告)号：
JP7330954B2
公开(公告)日：
2023-08-22
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
代理机构：
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法律状态：
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法律状态
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