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酸化物の原子層エッチングの方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20190090033
申请日：
2019-05-10
公开(公告)号：
JP7175237B2
公开(公告)日：
2022-11-18
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
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代理机构：
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法律状态
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