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エッチング残留物の少ない金属酸化物のエッチング方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200531606
申请日：
2018-12-13
公开(公告)号：
JP2021507509A
公开(公告)日：
2021-02-22
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/302
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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