共 50 条
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金属酸化物ウェットエッチング方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240519982
申请日：
2022-10-03
公开(公告)号：
JP2024541812A
公开(公告)日：
2024-11-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/308
IPC分类号：
B81C1/00
C30B29/32
C30B33/10
H01L21/302
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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