金属酸化物エッチング液組成物およびエッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20170238195

申请日：

2017-12-13

公开(公告)号：

JP6501858B2

公开(公告)日：

2019-04-17

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/308

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

金属酸化物エッチング液組成物およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6261926B2 ,2018-01-17

[2]

エッチング液組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009066750A1 ,2011-04-07

[3]

エッチング組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2022536763A ,2022-08-18

[4]

エッチング組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2022519267A ,2022-03-22

[5]

樹脂組成物のエッチング液及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020158610A1 ,2021-02-18

[6]

樹脂組成物のエッチング液及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6774589B1 ,2020-10-28

[7]

樹脂組成物のエッチング液及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6674075B1 ,2020-04-01

[8]

樹脂組成物のエッチング液及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020085447A1 ,2021-02-15

[9]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[10]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

← 1 2 3 4 5 →