Cu系配線膜[ja]

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申请号
JP20090525427
申请日
2008-07-30
公开(公告)号
JPWO2009017146A1
公开(公告)日
2010-10-21
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/3205
IPC分类号
G02F1/1343 G09F9/30 H01B5/14 H01L21/285 H01L23/52 H05K1/09 H05K3/16
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
溶浸用Cu系粉末[ja] [P]. 
日本专利 :JP6467535B1 ,2019-02-13
[2]
溶浸用Cu系粉末[ja] [P]. 
KIGOSHI YUTA .
日本专利 :JP2024065278A ,2024-05-15
[3]
配線材、及び配線材の製造方法[ja] [P]. 
ASHIKAWA YUKI ;
CHIBA HIROKI ;
ENDO HITOMI ;
KAMATA YUSUKE ;
SAKURAI TAKAHIRO ;
NISHIGUCHI MASAMI .
日本专利 :JP2024140151A ,2024-10-10
[4]
配線基板及び配線基板の製造方法[ja] [P]. 
MASHINO NAOHIRO .
日本专利 :JP2024113235A ,2024-08-22
[5]
[7]
[8]
[9]
Cr系被膜処理物品[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012017756A1 ,2013-10-03
[10]
炭素系膜の成膜方法及び成膜装置[ja] [P]. 
MITSUNARI TADASHI ;
SHINDO TAKAHISA .
日本专利 :JP2025126008A ,2025-08-28