硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物を用いたドライエッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20200538740

申请日：

2019-10-25

公开(公告)号：

JP6839331B2

公开(公告)日：

2021-03-03

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/3065

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共 50 条

[1]

硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物及びそれを用いたドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020085469A1 ,2021-02-15

[2]

ドライエッチングガス組成物及びドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018186364A1 ,2020-02-27

[3]

不飽和結合を有する硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物及びそれを用いたドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP7220721B2 ,2023-02-10

[4]

不飽和結合を有する硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物及びそれを用いたドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020085468A1 ,2021-11-18

[5]

ドライエッチングガスおよびドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005117082A1 ,2008-04-03

[6]

ドライエッチングガスおよびドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2002021586A1 ,2004-01-15

[7]

ドライエッチングガスおよびドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2002039494A1 ,2004-03-18

[8]

ドライエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014104290A1 ,2017-01-19

[9]

ドライエッチング用組成物およびドライエッチング用組成物充填済み容器[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017159544A1 ,2019-01-24

[10]

ケイ素化合物用エッチングガス組成物及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016056300A1 ,2017-07-27

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