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膜厚測定方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20130540542
申请日
:
2011-10-26
公开(公告)号
:
JPWO2013061417A1
公开(公告)日
:
2015-04-02
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G01B11/06
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025177341A
,2025-12-05
[2]
膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6986100B2
,2021-12-22
[3]
膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019142598A1
,2020-12-10
[4]
膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7141044B2
,2022-09-22
[5]
膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5831323B2
,2015-12-09
[6]
膜厚分布測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6520795B2
,2019-05-29
[7]
膜厚分布測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5660026B2
,2015-01-28
[8]
膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022179471A
,2022-12-02
[9]
膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7788358B2
,2025-12-18
[10]
膜厚測定装置及び膜厚測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7064465B2
,2022-05-10
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