膜厚分布測定方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20110287397

申请日：

2011-12-28

公开(公告)号：

JP5660026B2

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

H01L21/66 H01L27/12

代理机构：

代理人：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

膜厚分布測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6520795B2 ,2019-05-29

[2]

膜厚分布測定装置及び膜厚分布測定方法[ja] [P].

SAITO SHOTA ;

HORIE YOSHINORI ;

SEKINE DAISUKE ;

KUWABARA NOBORU .

日本专利 :JP2025071718A ,2025-05-08

[3]

膜厚分布測定装置及び膜厚分布測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7496168B1 ,2024-06-06

[4]

膜厚分布測定装置及び膜厚分布測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7554532B1 ,2024-09-20

[5]

膜厚分布測定装置及び膜厚分布測定方法[ja] [P].

SAITO SHOTA ;

HORIE YOSHINORI ;

SEKINE DAISUKE ;

KUWABARA NOBORU .

日本专利 :JP2025071760A ,2025-05-08

[6]

膜厚分布測定方法、膜厚分布測定装置および膜厚分布測定プログラム[ja] [P].

日本专利 :JP6693194B2 ,2020-05-13

[7]

膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013061417A1 ,2015-04-02

[8]

膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025177341A ,2025-12-05

[9]

膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6986100B2 ,2021-12-22

[10]

膜厚測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019142598A1 ,2020-12-10

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