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レジスト剥離液[ja]
被引:0
申请号
:
JP20170535457
申请日
:
2016-11-29
公开(公告)号
:
JPWO2018100595A1
公开(公告)日
:
2018-11-29
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G03F7/42
IPC分类号
:
H01L21/027
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
レジスト剥離液[ja]
[P].
日本专利
:JP5885041B1
,2016-03-15
[2]
レジスト剥離液[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018122992A1
,2018-12-27
[3]
レジスト剥離液[ja]
[P].
日本专利
:JP5885046B1
,2016-03-15
[4]
レジスト剥離液[ja]
[P].
日本专利
:JP6198095B1
,2017-09-20
[5]
レジスト剥離液[ja]
[P].
日本专利
:JP6213803B1
,2017-10-18
[6]
レジスト剥離液とその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5885043B1
,2016-03-15
[7]
レジスト剥離液とその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5885045B1
,2016-03-15
[8]
フォトレジスト除去用ストリッパー組成物およびこれを用いたフォトレジストの剥離方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2021518922A
,2021-08-05
[9]
フォトレジスト除去用ストリッパー組成物およびこれを用いたフォトレジストの剥離方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2023515005A
,2023-04-12
[10]
フォトレジストパターンの作製方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2011108259A1
,2013-06-20
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