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シリカ粒子分散液、研磨組成物及びシリカ粒子分散液の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200511001
申请日：
2019-03-28
公开(公告)号：
JP7213234B2
公开(公告)日：
2023-01-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C09K3/14
IPC分类号：
B24B37/00
C01B33/141
C09G1/02
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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