基板吸着装置及びその製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20090524417

申请日：

2008-06-05

公开(公告)号：

JPWO2009013941A1

公开(公告)日：

2010-09-30

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/683

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法律状态信息

共 50 条

[1]

吸着装置、吸着装置の製造方法、及び真空処理装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016159342A1 ,2018-01-11

[2]

静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023037788A ,2023-03-16

[3]

吸着剤並びにその使用方法及び製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016080546A1 ,2017-09-07

[4]

砥石及びその製造方法[ja] [P].

TAKADA ATSUSHI ;

OHASHI KYOSUKE ;

TAKADA DAICHI ;

TAKADA YAMATO ;

KIMURA YUKI ;

WATANABE RIKU ;

HOSHINA KOKI .

日本专利 :JP2024176178A ,2024-12-19

[5]

基板の製造方法及び処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025174122A ,2025-11-28

[6]

吸着装置[ja] [P].

日本专利 :JP3211688U ,2017-07-27

[7]

基板の製造方法[ja] [P].

SETO YUYA .

日本专利 :JP2025122547A ,2025-08-21

[8]

基板の製造方法[ja] [P].

SETO YUYA .

日本专利 :JP2025077095A ,2025-05-19

[9]

吸着装置及び真空処理装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016159239A1 ,2017-08-03

[10]

トレー及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6501963B1 ,2019-04-17

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