共 50 条
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イオン注入システム、イオン注入装置及び抽出プレート[ja]
被引：0
申请号：
JP20200523369
申请日：
2018-10-09
公开(公告)号：
JP2021501963A
公开(公告)日：
2021-01-21
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/317
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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