荷電粒子ビームステアリング装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20190521788

申请日：

2017-10-18

公开(公告)号：

JP2019533579A

公开(公告)日：

2019-11-21

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

B23K15/00

IPC分类号：

B22F3/105 B22F3/16 B29C64/153 B29C64/264 B33Y10/00 B33Y30/00

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共 50 条

[1]

荷電粒子ビームシステム[ja] [P].

SUZUKI KOHEI ;

MIZUTANI SHUNSUKE ;

MIZUHARA YUZURU .

日本专利 :JP2025108795A ,2025-07-24

[2]

荷電粒子ビーム装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015045468A1 ,2017-03-09

[3]

荷電粒子ビーム装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020183551A1 ,2021-11-25

[4]

荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025183021A ,2025-12-16

[5]

荷電粒子装置用のビームスプリッタ[ja] [P].

日本专利 :JP2022524058A ,2022-04-27

[6]

荷電粒子ビームシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP2020511733A ,2020-04-16

[7]

荷電粒子ビーム描画装置、ドリフト量算出方法及び荷電粒子ビーム描画方法[ja] [P].

YASUDA JUMPEI ;

HINATA NOBORU ;

IKEDA MICHIHIKO .

日本专利 :JP2025080088A ,2025-05-23

[8]

粒子ビームシステム[ja] [P].

日本专利 :JP2022091837A ,2022-06-21

[9]

粒子ビームシステム[ja] [P].

日本专利 :JP2021528819A ,2021-10-21

[10]

荷電粒子ビームを用いた装置[ja] [P].

日本专利 :JP2020536347A ,2020-12-10

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