荷電粒子ビーム装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20210504631

申请日：

2019-03-08

公开(公告)号：

JPWO2020183551A1

公开(公告)日：

2021-11-25

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01J37/153

IPC分类号：

H01J37/147 H01J37/28

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

荷電粒子ビーム装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015045468A1 ,2017-03-09

[2]

荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025183021A ,2025-12-16

[3]

荷電粒子ビームシステム[ja] [P].

SUZUKI KOHEI ;

MIZUTANI SHUNSUKE ;

MIZUHARA YUZURU .

日本专利 :JP2025108795A ,2025-07-24

[4]

荷電粒子ビームを用いた装置[ja] [P].

日本专利 :JP2020536347A ,2020-12-10

[5]

荷電粒子ビーム描画の偏向位置調整方法及び荷電粒子ビーム描画方法[ja] [P].

NAKATSUKA ATSUSHI .

日本专利 :JP2025110705A ,2025-07-29

[6]

荷電粒子ビーム描画装置、ドリフト量算出方法及び荷電粒子ビーム描画方法[ja] [P].

YASUDA JUMPEI ;

HINATA NOBORU ;

IKEDA MICHIHIKO .

日本专利 :JP2025080088A ,2025-05-23

[7]

マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビームの測定方法[ja] [P].

FUJISAKI EITA ;

IIZUKA OSAMU ;

NANAO TSUBASA .

日本专利 :JP2024075811A ,2024-06-05

[8]

評価方法および荷電粒子ビーム装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022174318A ,2022-11-22

[9]

荷電粒子ビームステアリング装置[ja] [P].

日本专利 :JP2019533579A ,2019-11-21

[10]

荷電粒子装置用のビームスプリッタ[ja] [P].

日本专利 :JP2022524058A ,2022-04-27

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