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化合物半導体基板および化合物半導体基板の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20150162198
申请日：
2015-08-19
公开(公告)号：
JP6450282B2
公开(公告)日：
2019-01-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C30B29/36
IPC分类号：
C23C16/04
C23C16/42
C30B25/04
C30B25/18
H01L21/205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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