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化合物半導体装置、化合物半導体基板、および化合物半導体装置の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180206717
申请日：
2018-11-01
公开(公告)号：
JP7248410B2
公开(公告)日：
2023-03-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/338
IPC分类号：
H01L29/778
H01L29/812
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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