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二次元材料を製造するための化学蒸着方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180559800
申请日：
2017-05-12
公开(公告)号：
JP2019522106A
公开(公告)日：
2019-08-08
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/30
IPC分类号：
C01B19/04
H01L21/205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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