中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20210506535

申请日：

2019-08-05

公开(公告)号：

JP2021533572A

公开(公告)日：

2021-12-02

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

H05H1/46

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法律状态信息

共 50 条

[1]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP7369835B2 ,2023-10-26

[2]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP7125542B2 ,2022-08-24

[3]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

STEPHEN E SAVAS .

日本专利 :JP2022166171A ,2022-11-01

[4]

被加工物を処理するためのシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP2019537253A ,2019-12-19

[5]

被加工物の処理システム[ja] [P].

DEJIMA NOBUKAZU ;

SOEJIMA YOSHIKATSU .

日本专利 :JP2025049917A ,2025-04-04

[6]

ビーム加工ヘッドおよびビーム加工のための方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023541333A ,2023-09-29

[7]

被加工物の加工方法および被加工物の加工システム[ja] [P].

日本专利 :JP7659657B2 ,2025-04-09

[8]

被加工物の付加製造のための電子ビームシステム及び方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023515448A ,2023-04-13

[9]

被加工物の付加製造のための電子ビームシステム及び方法[ja] [P].

日本专利 :JP7771069B2 ,2025-11-17

[10]

被加工物の測定を行うための装置および方法ならびに被加工物を機械加工するための機械加工システムおよび方法[ja] [P].

ECKHARD LESSMUELLER ;

CHRISTIAN TRUCKENBRODT .

日本专利 :JP2024068141A ,2024-05-17

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