被加工物を処理するためのシステムおよび方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20190520705

申请日：

2017-10-06

公开(公告)号：

JP2019537253A

公开(公告)日：

2019-12-19

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/02 H01L21/3065

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法律状态信息

共 50 条

[1]

熱処理中の被加工物を支持するシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP5967859B2 ,2016-08-10

[2]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP2021533572A ,2021-12-02

[3]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP7369835B2 ,2023-10-26

[4]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

STEPHEN E SAVAS .

日本专利 :JP2022166171A ,2022-11-01

[5]

中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP7125542B2 ,2022-08-24

[6]

被加工物を電気加工する方法およびシステム[ja] [P].

日本专利 :JP5739819B2 ,2015-06-24

[7]

被加工物を機械加工するための工具システム[ja] [P].

日本专利 :JP6030658B2 ,2016-11-24

[8]

被加工物を機械加工するための工具システム[ja] [P].

日本专利 :JP2014528367A ,2014-10-27

[9]

被加工物の処理システム[ja] [P].

DEJIMA NOBUKAZU ;

SOEJIMA YOSHIKATSU .

日本专利 :JP2025049917A ,2025-04-04

[10]

被加工物の測定を行うための装置および方法ならびに被加工物を機械加工するための機械加工システムおよび方法[ja] [P].

ECKHARD LESSMUELLER ;

CHRISTIAN TRUCKENBRODT .

日本专利 :JP2024068141A ,2024-05-17

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