CVDリアクタおよびCVDリアクタの洗浄方法[ja]

被引:0
申请号
JP20190513299
申请日
2017-09-08
公开(公告)号
JP2019530224A
公开(公告)日
2019-10-17
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/205
IPC分类号
C23C16/40 C23C16/44
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
CVDリアクタの構成要素の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022513144A ,2022-02-07
[2]
フロー式リアクターの洗浄方法[ja] [P]. 
MACHIDA YASUSHI ;
IWASAKI RYO .
日本专利 :JP2024083726A ,2024-06-24
[3]
(メタ)アクリレートおよびその用途[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019107323A1 ,2020-10-22
[4]
リアクタシステムおよびその使用方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024526249A ,2024-07-17
[7]
マイクロリアクタ及び使用方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022541658A ,2022-09-26
[8]
(メタ)アクリル酸の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018216699A1 ,2019-11-14
[9]
(メタ)アクリル酸の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025127430A ,2025-09-01
[10]
アリールおよびヘテロアリール縮合ラクタム[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016507497A ,2016-03-10