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CVDリアクタおよびCVDリアクタの洗浄方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20190513299
申请日
:
2017-09-08
公开(公告)号
:
JP2019530224A
公开(公告)日
:
2019-10-17
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H01L21/205
IPC分类号
:
C23C16/40
C23C16/44
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
CVDリアクタの構成要素の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022513144A
,2022-02-07
[2]
フロー式リアクターの洗浄方法[ja]
[P].
MACHIDA YASUSHI
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
KANEKA CORP
KANEKA CORP
MACHIDA YASUSHI
;
IWASAKI RYO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
KANEKA CORP
KANEKA CORP
IWASAKI RYO
.
日本专利
:JP2024083726A
,2024-06-24
[3]
(メタ)アクリレートおよびその用途[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019107323A1
,2020-10-22
[4]
リアクタシステムおよびその使用方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2024526249A
,2024-07-17
[5]
(メタ)アクリレート化合物の製造方法、(メタ)アクリレート化合物の精製方法および、(メタ)アクリレート化合物[ja]
[P].
日本专利
:JP6282353B2
,2018-02-21
[6]
(メタ)アクリレート化合物の製造方法、(メタ)アクリレート化合物の精製方法および、(メタ)アクリレート化合物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2016047655A1
,2017-06-29
[7]
マイクロリアクタ及び使用方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022541658A
,2022-09-26
[8]
(メタ)アクリル酸の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018216699A1
,2019-11-14
[9]
(メタ)アクリル酸の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025127430A
,2025-09-01
[10]
アリールおよびヘテロアリール縮合ラクタム[ja]
[P].
日本专利
:JP2016507497A
,2016-03-10
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