共 50 条
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ＣＶＤリアクタの構成要素の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210530073
申请日：
2019-11-27
公开(公告)号：
JP2022513144A
公开(公告)日：
2022-02-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/31
IPC分类号：
C23C16/44
C23C16/455
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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