共 50 条
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モリブデン含有薄膜の製造方法およびこれにより製造されたモリブデン含有薄膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20210526238
申请日：
2019-11-13
公开(公告)号：
JP2022510566A
公开(公告)日：
2022-01-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/32
IPC分类号：
C07F11/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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