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モリブデンを含有する薄膜の製造方法、薄膜形成用原料及びモリブデンイミド化合物[ja]
被引：0
申请号：
JP20140546911
申请日：
2013-10-15
公开(公告)号：
JP6198280B2
公开(公告)日：
2017-09-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
C07F17/00
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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