共 50 条
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モリブデン前駆体化合物、それを調製する方法、及びそれを用いるモリブデン含有膜を成膜する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240534525
申请日：
2022-12-23
公开(公告)号：
JP2024546253A
公开(公告)日：
2024-12-19
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F11/00
IPC分类号：
C07C15/02
C23C16/18
C23C16/455
H01L21/28
H01L21/285
H01L21/3205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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