共 50 条
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第４族金属元素含有前駆体化合物を含む成膜用組成物、及び、それを用いた膜を形成する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240562309
申请日：
2023-05-11
公开(公告)号：
JP7698807B2
公开(公告)日：
2025-06-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
C07F7/00
C23C16/455
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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