共 50 条
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４族金属元素－含有化合物、これを含む前駆体組成物、およびこれを用いた薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230515700
申请日：
2021-09-06
公开(公告)号：
JP7636525B2
公开(公告)日：
2025-02-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F7/00
IPC分类号：
H01L21/31
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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