共 50 条
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４族金属元素含有化合物、この製造方法、これを含む膜蒸着用前駆体組成物、及びこれを利用する膜の蒸着方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170566805
申请日：
2017-02-03
公开(公告)号：
JP6421258B2
公开(公告)日：
2018-11-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F19/00
IPC分类号：
C23C16/18
C23C16/40
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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