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新規ルテニウム化合物、その製造方法、これを含む膜蒸着用前駆体組成物、及びこれを利用した膜の蒸着方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170515645
申请日：
2015-05-26
公开(公告)号：
JP2017524729A
公开(公告)日：
2017-08-31
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F15/00
IPC分类号：
C23C16/18
H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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