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第４族金属元素含有アルコキシ化合物、この製造方法、これを含む膜蒸着用前駆体組成物、及びこれを利用する膜の蒸着方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170564554
申请日：
2017-08-08
公开(公告)号：
JP2019523749A
公开(公告)日：
2019-08-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F7/28
IPC分类号：
C07F7/00
C23C16/18
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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