共 50 条
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有機金属化合物、これを含む前駆体組成物、およびこれを用いた薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230504679
申请日：
2020-08-03
公开(公告)号：
JP7496028B2
公开(公告)日：
2024-06-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F13/00
IPC分类号：
C23C16/18
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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