共 50 条
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薄膜形成方法、および、薄膜形成装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20150052809
申请日：
2015-03-17
公开(公告)号：
JP6340332B2
公开(公告)日：
2018-06-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/318
IPC分类号：
C23C16/44
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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