酸化物結晶薄膜の製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20130212620

申请日：

2013-10-10

公开(公告)号：

JP6233959B2

公开(公告)日：

2017-11-22

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C30B29/16

IPC分类号：

C01G15/00 C23C16/40 C30B29/22 H01L21/205

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共 50 条

[1]

酸化物単結晶の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6350405B2 ,2018-07-04

[2]

酸化物多結晶膜の製造方法、酸化物多結晶膜の製造装置[ja] [P].

NAKAJIMA TOMOHIKO ;

YAMAGUCHI IWAO ;

NOMOTO JUNICHI ;

KITANAKA YUKI .

日本专利 :JP2024080234A ,2024-06-13

[3]

結晶性酸化物薄膜、積層体及び結晶性酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7622195B2 ,2025-01-27

[4]

酸化物単結晶基板の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7271875B2 ,2023-05-12

[5]

酸化物単結晶基板の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025178764A ,2025-12-09

[6]

非晶質酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP5871263B2 ,2016-03-01

[7]

酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6014243B2 ,2016-10-25

[8]

酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023546468A ,2023-11-02

[9]

酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP5830238B2 ,2015-12-09

[10]

酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7522931B2 ,2024-07-25

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