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酸化物薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230524557
申请日：
2021-10-21
公开(公告)号：
JP2023546468A
公开(公告)日：
2023-11-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C14/08
C23C14/10
C23C14/34
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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