モジュラーマイクロ波プラズマ源[ja]

被引：0

申请号：

JP20220043272

申请日：

2022-03-18

公开(公告)号：

JP2022106694A

公开(公告)日：

2022-07-20

发明(设计)人：

PHILIP ALLAN KRAUS CHUA THAI CHENG

申请人：

APPLIED MATERIALS INC

申请人地址：

IPC主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

C23C16/511 H01L21/3065 H01L21/31

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

モジュラーマイクロ波プラズマ源[ja] [P].

日本专利 :JP2019528553A ,2019-10-10

[2]

マイクロ波共振器プラズマ源中のプラズマ調節ロッド[ja] [P].

日本专利 :JP2016516271A ,2016-06-02

[3]

マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014192062A1 ,2017-02-23

[4]

プラズマ診断のためのマイクロ波共振器アレイ[ja] [P].

日本专利 :JP7699291B2 ,2025-06-26

[5]

プラズマ診断のためのマイクロ波共振器アレイ[ja] [P].

日本专利 :JP2025134807A ,2025-09-17

[6]

プラズマ診断のためのマイクロ波共振器アレイ[ja] [P].

日本专利 :JP2024530014A ,2024-08-14

[7]

マイクロ波モード変換器[ja] [P].

YAMADA HIDEAKI ;

CHAYAHARA AKIYOSHI ;

MOKUNO YOSHIAKI .

日本专利 :JP2023179964A ,2023-12-20

[8]

合成ダイヤモンド材料を製造するマイクロ波プラズマ反応器[ja] [P].

日本专利 :JP2017521556A ,2017-08-03

[9]

誘電体共振器を使用するマイクロ波プラズマ分光計[ja] [P].

日本专利 :JP6568050B2 ,2019-08-28

[10]

誘電体共振器を使用するマイクロ波プラズマ分光計[ja] [P].

日本专利 :JP2016520797A ,2016-07-14

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