電源装置、高周波システム及び該電源装置の制御方法[ja]

被引:0
申请号
JP20130258232
申请日
2013-12-13
公开(公告)号
JP5656270B1
公开(公告)日
2015-01-21
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J23/34
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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[4]
[5]
高周波電源システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP7544594B2 ,2024-09-03
[6]
高周波電源システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP7437142B2 ,2024-02-22
[7]
高周波電源システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP7450435B2 ,2024-03-15
[8]
高周波電源システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP7474591B2 ,2024-04-25
[10]
高周波電源装置及びその制御方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6116176B2 ,2017-04-19