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シリコンを基板上に形成する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160510638
申请日：
2014-04-28
公开(公告)号：
JP2016521244A
公开(公告)日：
2016-07-21
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B33/02
IPC分类号：
C30B1/04
C30B29/06
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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