タングステンの化学機械研磨組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20160574914

申请日：

2015-06-25

公开(公告)号：

JP2017524767A

公开(公告)日：

2017-08-31

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C09K3/14

IPC分类号：

B24B37/00 C09G1/02 H01L21/304

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共 50 条

[1]

化学機械研磨組成物、リンス組成物、化学機械研磨方法及びリンス方法[ja] [P].

KITAMURA HIROSHI ;

MASUDA TAKESHI ;

MATSUMURA YOSHIYUKI ;

NAMIKI AKIHISA ;

SAITO TAKESHI .

日本专利 :JP2024164086A ,2024-11-26

[2]

タングステン化学機械研磨スラリー[ja] [P].

日本专利 :JP2024544194A ,2024-11-28

[3]

化学機械研磨組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2021504953A ,2021-02-15

[4]

タングステンＣＭＰのための組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017514295A ,2017-06-01

[5]

タングステンＣＭＰのための組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017514927A ,2017-06-08

[6]

タングステンＣＭＰ用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2022517044A ,2022-03-03

[7]

銅バリアの化学機械研磨組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017525796A ,2017-09-07

[8]

化学機械研磨組成物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2017524770A ,2017-08-31

[9]

化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2021095414A1 ,2021-11-25

[10]

化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2021095413A1 ,2021-11-25

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