化学機械研磨組成物、リンス組成物、化学機械研磨方法及びリンス方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20240135716

申请日：

2024-08-15

公开(公告)号：

JP2024164086A

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

KITAMURA HIROSHI MASUDA TAKESHI MATSUMURA YOSHIYUKI NAMIKI AKIHISA SAITO TAKESHI

申请人：

ENTEGRIS INC

申请人地址：

IPC主分类号：

C09K3/14

IPC分类号：

B24B37/00 B24B37/08 B24B37/28 C09G1/02 H01L21/304

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

化学機械研磨組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2021504953A ,2021-02-15

[2]

化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2021095414A1 ,2021-11-25

[3]

化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2021095413A1 ,2021-11-25

[4]

化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP6892034B1 ,2021-06-18

[5]

化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP6892035B1 ,2021-06-18

[6]

タングステンの化学機械研磨組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017524767A ,2017-08-31

[7]

化学機械研磨用組成物及び研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP7468811B1 ,2024-04-16

[8]

銅バリアの化学機械研磨組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2017525796A ,2017-09-07

[9]

化学機械研磨組成物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2017524770A ,2017-08-31

[10]

砥粒の製造方法、化学機械研磨用組成物及び化学機械研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP6958774B1 ,2021-11-02

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