二次粒子像から分析画像を擬似的に作成する荷電粒子線装置[ja]

被引:0
申请号
JP20160571906
申请日
2016-01-12
公开(公告)号
JPWO2016121471A1
公开(公告)日
2017-11-30
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J37/22
IPC分类号
G01N23/225 H01J37/244 H01J37/252 H01J37/28 H01J37/317
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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