低誘電率膜及びその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20210568365
申请日
2020-05-14
公开(公告)号
JP2022532755A
公开(公告)日
2022-07-19
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/30
IPC分类号
C23C16/50 H01L21/316
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
疎水性低誘電率膜及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022533964A ,2022-07-27
[2]
誘電体化合物及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2010064686A1 ,2012-05-10
[3]
透明導電性膜及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019150638A1 ,2021-02-04
[4]
糖誘導体及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022132981A ,2022-09-13
[5]
電池隔膜及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016529659A ,2016-09-23
[6]
分離膜、及びその製造方法[ja] [P]. 
MURAKAMI SHIMPEI ;
XIA IKUCHIN ;
NAKANO TAKESHI .
日本专利 :JP2024136141A ,2024-10-04
[7]
膜の製造方法、及び膜[ja] [P]. 
MAKINO KOTARO ;
MOROTA MISAKO ;
UCHIDA NORIYUKI ;
IGARASHI MASAYASU ;
TANAKA SHINJI .
日本专利 :JP2025080056A ,2025-05-23
[8]
透明導電膜およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2008099932A1 ,2010-05-27