低屈折率膜及びその製造方法、反射防止膜及びその製造方法、低屈折率膜用コーティング液セット、微粒子積層薄膜付き基材及びその製造方法、並びに光学部材[ja]

被引:0
申请号
JP20100533900
申请日
2009-10-13
公开(公告)号
JPWO2010044402A1
公开(公告)日
2012-03-15
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B32B27/00
IPC分类号
B32B9/00 B82Y20/00 B82Y30/00 C09D7/61 G02B1/11 G02B3/00 H01J29/88
代理机构
代理人
法律状态
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[9]
低誘電率膜及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022532755A ,2022-07-19