圧電膜を有する積層基板、圧電膜を有する素子および圧電膜を有する積層基板の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20170114028
申请日
2017-06-09
公开(公告)号
JP6342040B1
公开(公告)日
2018-06-13
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L41/047
IPC分类号
H01L41/187 H01L41/29
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
圧電膜を有する積層基板、積層基板の製造方法、及び圧電素子[ja] [P]. 
TANAKA YASUNORI ;
SHIBATA KENJI ;
KURODA TOSHIAKI ;
WATANABE KAZUTOSHI .
日本专利 :JP2025103513A ,2025-07-09
[2]
圧電積層体、圧電積層体の製造方法、及び圧電素子[ja] [P]. 
KURODA TOSHIAKI ;
SHIBATA KENJI ;
WATANABE KAZUTOSHI .
日本专利 :JP2024141259A ,2024-10-10
[3]
圧電体膜、圧電素子および圧電体膜の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018021197A1 ,2019-03-28
[4]
圧電素子を備える装置、積層基板、及びその装置の製造方法[ja] [P]. 
TANAKA YASUNORI ;
SHIBATA KENJI ;
KURODA TOSHIAKI ;
WATANABE KAZUTOSHI .
日本专利 :JP2025103514A ,2025-07-09
[5]
圧電積層体、圧電積層ウエハ、及び圧電積層体の製造方法[ja] [P]. 
KURODA TOSHIAKI ;
SHIBATA KENJI ;
WATANABE KAZUTOSHI .
日本专利 :JP2024136170A ,2024-10-04
[8]
圧電体膜、圧電素子、及び、圧電素子の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018180276A1 ,2019-12-19
[9]
積層型圧電素子およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2007066453A1 ,2009-05-14