電子源および電子線照射装置[ja]

被引:0
申请号
JP20180537899
申请日
2016-09-06
公开(公告)号
JP6937310B2
公开(公告)日
2021-09-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J37/06
IPC分类号
H01J1/30
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
電子源および電子線照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018047228A1 ,2019-07-04
[2]
電子線照射装置および電子線照射方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7205802B2 ,2023-01-17
[3]
電子線照射装置および電子線照射方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7246619B2 ,2023-03-28
[4]
電子線照射装置および電子線照射方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6459538B2 ,2019-01-30
[5]
電子線照射装置及び電子線照射方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2011102320A1 ,2013-06-17
[6]
電子線照射装置および真空容器[ja] [P]. 
SHIROHASHI TOMONORI ;
BABA TAKASHI .
日本专利 :JP2023172596A ,2023-12-06
[7]
電子線照射装置および真空容器[ja] [P]. 
日本专利 :JP7268781B1 ,2023-05-08