ボイラ設備及び火力発電設備[ja]

被引:0
申请号
JP20200506105
申请日
2018-03-16
公开(公告)号
JPWO2019176119A1
公开(公告)日
2020-12-03
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
F22B37/10
IPC分类号
F22B37/48
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 28 条
[25]
高温半導体処理におけるクランピングのための静電チャック及びそれを製造する方法[ja] [P]. 
BRENT DONALD ALFRED ELLIOT ;
FRANK BALMA ;
MICHAEL PARKER ;
JASON STEPHENS ;
GULEID HUSSEN .
日本专利 :JP2022050408A ,2022-03-30